超高純特氣的實驗室管道安裝需采用銹鋼雙層管道工藝，如磷烷，砷烷、乙硼烷、六氟化鎢等，這些特殊氣體是精密半導體電子元器件、新能源光電產品制造的必不可少的重要原料，但是這些特殊氣體也多數具有易燃、劇毒、強腐蝕等特征，所以在使用中要尤其注意避免泄漏。實驗室內采用相關特氣，管道安裝需采用銹鋼雙層管道工藝，避免出現氣體泄露造成產品質量和人身傷亡事故。

       銹鋼雙層管道工藝在實驗室氣體管道安裝中對各方面作業要求比較高，要求焊接和安裝質量合理，要求作業環境內要保證一定的潔凈度，要求管道自身內外要保持潔凈。超高純特氣的實驗室管道安裝，首先對管道的加工有嚴格要求，其中管口的加工是技術的關鍵點之一，管道切割、預制均在潔凈環境進行，同時確保管道切割前表面無有害痕跡、破損。管道開封前應做好管內沖氮的準備工作。其次是雙套管加工過程中環境的潔凈程度，現場設置三段預制加工潔凈區域，建立臨時潔凈室，要求凈化等級不低于9級，確保管件加工的潔凈度，進入潔凈室的人員必須穿戴潔服、潔凈帽、潔凈鞋、潔凈手套等。

       特種氣體要求超純、超凈，而純度每提升一個 N 以及粒子、金屬雜質含量濃度每降低一個數量級都將帶來工藝復雜度和難度的顯著提升。實驗室管道安裝采用雙套管工藝，是將工藝管線采用1/4管路輸送，在其外部再套一個1/2的外管進行防護，管道加工采用水平15°傾斜擺放姿勢，不銹鋼彈簧填充雙層管夾層后用專用彎管裝置進行彎管加工，管道與配件及設備連接安裝采用金屬墊片面密封接頭安裝，確保密封嚴密。為了確保整個系統的可靠性與密閉性，除氣體管道系統的設計安裝保證規范，還應該具備氣體安全偵測系統，可以做到氣體泄露偵測，震動報警等功能。