超高純特氣多數具有易燃、劇毒、強腐蝕等特性，對這類氣體實驗室氣體管道安裝施工會更為注重密封性，因此多數實驗室都會采用雙層管道工藝，超高純特氣一般都是高科技工業生產中應用的，比如精密半導體電子元器件，比如新能源光電產品制造等，高純度的SiH4、PH3、B2H6、WF6、NH3等都是，這些純度高的、重要、危險的氣體在實驗室應用，需要注意對輸送管道的安裝。

       超高純特氣實驗室氣體管道安裝施工中，對整體的作業環境潔凈度、管道內外管材的潔凈度、焊接和安裝質量的要求都非常高，為了保證安全性、避免氣體泄露會采用雙套管工藝，首先在管材的選擇要求上，對要求控制高純氣體中總雜質含量≤1.0×10-6及以下的管材應用SS316L-EP管，一般我們說到高純度氣體會先考慮到氣體自身的“三度”，氣體純度、干燥度、潔凈度，而輸送氣體的管道必須要保證通過管路輸送到設備用點過程中的純度，所以管路的材質則依使用的需求進行選擇。

       其次對于實驗室超高純特氣氣體管道安裝過程中，安裝現場先要保證潔凈，否則空氣污染物可能會存留在管道中導致氣體受污染，對于實驗室氣體管道自身，加工中要注意在潔凈環境內進行，同時管道完整性要好，無破損。管道系統的管材和配件以及實驗設備相連接要采用采用金屬墊片面密封接頭，金屬墊片采用柔性鎳合金墊片，確保密封性，管道焊接禁止采用卡套、手工焊等連接方式，安裝完成后注意安全偵測系統設計，對于氣體泄露、環境偵測、煙感、火焰、震動等會發出警報。