高純氣配管技術是高純氣供氣系統的緊張組成部分，也是能否將吻合要求的高純氣送到用氣點，并保證質量合格的關鍵技術；所謂高純氣配管技術，包括體系的精確設計、管件和附件的選擇、施工安裝和試驗檢測等。目前，以大規模集成電路為代表的微電子產品的生產，對高純氣體純度和雜質含量的要求越來越高，使得高純氣體管道技術越來越受到人們的關注和正視。下面就高純氣體傳送從選材到施工，驗收，日常管理等方面做一個簡單概述。

通俗氣體種類

電子業中常見氣體的分類

一樣平常氣體(Bulkgas)，又稱大宗氣體，如氫(H2)、氮(N2)、氧(O2)、氬(A2)等；

特別氣體(特別氣體)重要有：SiH4PH3B2H6A8H3CLHCLCF4NH3POCL3SIH2CL2SIHCL3NH3BCL3SIF4CLF3COC2F6N2OF2HBRSF6等；

特種氣體的種類一樣平常可分為：腐蝕性、毒性、易燃、助燃、惰性等。半導體氣體一樣平常常用的種類如下：

1.腐蝕性/毒性：HCl,BF3,WF6,HBr,SiH2Cl2,NH3,PH3,Cl2,BCl3…等；

2.可燃性：H2,CH4,SiH4,PH3,AsH3,SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,CO…等；

③，助燃性能：氧氣，氫氣，N2O,NF3等。

④，惰性：N2,CF4,C2F6,C4F8,SF6,CO2,Ne,Kr,He…等；

很多半導體氣體對人體有害。尤其是其中一些氣體，如SiH4的自燃，只要一有走漏，就會與空氣中的氧氣發生劇烈反應，開始燃燒；還有AsH3的毒性，任何細小的走漏都會導致生命傷害，這也是因為這些顯明的傷害，因此對體系設計的安全性要求尤其高。

自然氣的使用范圍

氣態產品是當代工業的緊張基礎質料，其應用范圍特別很是廣泛，在冶金、鋼、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫療等行業中，經常使用到大量的通俗氣體或特別氣體。自然氣的應用，尤其是高新技術在這些領域的應用具有緊張的意義，是其不可或缺的質料氣或過程氣。同時，因為各種新興行業的需求和當代科技的推動，氣體工業產品在品種、質量和數量上也有了長足的發展。

氣態應用于微電子、半導體工業。

在半導體系體例程中，氣體的使用一向起偏重要作用，尤其是半導體系體例程目前已被廣泛應用于各種工業領域，從傳統的ULSI、TFT-LCD到如今的微機電(MEMS)工業領域，均以所謂的半導體系體例程作為產品的生產過程，其中的生產過程包括干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等，都要使用大量的氣體，而氣體的純度對組件性能、產品良率有決定性的影響，而氣體供給的安全性關系到工人的健康和工廠操作的安全。

輸氣管道傳送高純氣體的意義。

煉鋼不銹鋼制材時，大約每噸能吸取200g的氣體。鋼絲經過加工后，不僅外觀粘有各種污染物，而且在鋼絲的金屬格子內還吸附著肯定數量的氣體。這部分被金屬吸取留下的氣體，在管道中有空氣流經時，又重新進入氣流，污染了純氣體。在管道內氣流為間斷性流動時，管子對所通過的氣體形成壓力，氣流制止通過時，管子對所吸附的氣體形成穩壓解析，解析的氣體也作為雜質進入管子內純凈氣體。與此同時，因為吸附性、解析性等緣故原由，使管內外觀金屬產生肯定的粉末，這種金屬塵粒同樣會污染管內的純凈氣體。管道的這種特征是特別很是緊張的，為了保證所傳送氣體的純凈度，不僅要求管道內外觀有極高的光滑度，而且還要求其具有高的耐磨性。

對于具有較強腐蝕性的氣體，肯定選擇耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則，管會因腐蝕在其外觀產生腐蝕斑，緊張時會出現大面積的金屬剝離甚至穿孔，從而污染輸配的純凈氣體。

高純、高潔凈、大流量氣體傳送管道的連接，原則上都是焊接工藝的，所要求的管子，在施焊時組織不會改變。含碳量過高的材料在焊接工藝時，受焊接工藝部位透氣性的影響，使管子內部和管外的氣體互相滲透，破壞了傳送氣體的純凈度、干燥度和潔凈度，使我們所有的努力都失去意義。

總之，對于高純氣體和特別氣體傳送管道，肯定采用特別處理的高純不銹鋼管，以使高純氣體傳送體系(包括管道、管件、閥門、VMB、VMP)成為高純氣體傳送的關鍵義務。

輸配管凈化技術的一樣平常概念

高純凈、潔凈的氣體傳送配管，是指對氣體傳送“三度”有肯定要求或控制。氣純度：雜質氣氛在氣體中的含量，通常以氣純度百分之99.9999%透露表現，雜質氣氛含量的體積比值ppm,ppb,ppt透露表現；

干性：氣體中的痕量水分，或稱為濕量，通常用露點來透露表現，露點-70℃通常被壓扁。

純凈度：指氣體中含有污染物顆粒的數量，顆粒的粒徑為μm，用多少粒/M3來透露表現，對于壓縮空氣來說，通常也用不可避免的固體殘留物的mg/m3來透露表現，它包含了含油物質。

高純供氣體系傳送原則。

悉數高純度、高清潔度的氣體都必要通過管道輸送到設備用點(POU)，為了達到工藝要求的氣體質量，在有肯定氣體出口指標的情況下，更必要正視配管體系的選材和施工質量。除了依靠于制氣或凈化設備的度外，還受到管道體系諸多因素的影響，因此，管道的選擇應遵循相干行業的原則，并在圖紙中說明管道的材質。

管道材料的選擇取決于使用的必要，若用于制程的反應氣體，則選用316LEP高質量的管子，經電解拋光處理，耐腐蝕，外觀粗糙度低，Rmax(maximumpeaktovalleyheight)在大約0.3μm以下，而Rmax(maximumpeaktovalleyheight)在經過光輝燒結處理的316LBA管中，其值遠低于0.8μm，由于平整度越高，越不易形成微渦流，從而使污染顆粒被帶出。在316LBA管中，通常用來與芯片接觸而不參與制程反應的氣體，例如GN2,CDA。管道內部外觀粗糙度是管道質量的緊張指標。粗糙度越低，顆粒的攜帶能力就越低。另外一個未經分外處理的AP管(Annealing&Picking)，被用在兩個不用作供氣管道的套外管上。

當前國內潔凈管路可參照的標準較少，一樣平常我們除參考《潔凈廠房設計規范》《氫氣站設計規范》《氫氧站設計規范》《壓縮空氣設計規范》等行業技術和工業技術規范外，選用本行業常用的材料和配料。