超高純供氣系統(tǒng)施工。

超高純供氣體系施工全主動化軌道焊接，同時制訂并實(shí)施嚴(yán)酷的超高純供氣施工及QA/QC保證程序，對施工質(zhì)量和工序進(jìn)行嚴(yán)酷的監(jiān)控和管理。終，整個體系還必要進(jìn)行氦檢漏、水份、氧和顆粒度檢測，以及其它必要的氣相雜質(zhì)檢測。

施工現(xiàn)場基本施工程序為：施工組織設(shè)計會審→施工組織編制→預(yù)制工房施工

一、預(yù)制構(gòu)件的選擇。

專用供氣管道施工對環(huán)境的要求較高，管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場安裝的方法。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)，預(yù)制作業(yè)必須在潔凈度達(dá)到百級的洗滌車間進(jìn)行，操作者還必須按照百級洗滌車間管理著裝。所以對于大型特氣工程，一樣平常建有標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制廠。

但是我們在現(xiàn)實(shí)的施工中，大批量的特氣工程很少，一樣平常都是就地施工，為了節(jié)省成本和資金，在對特氣工程的要求不高的情況下，一樣平常采用在施工現(xiàn)場找一塊相對干凈的地方進(jìn)行肯定的防塵措施，除了施工人員和檢方以外，應(yīng)該禁止無關(guān)人員進(jìn)入。如業(yè)重要求較嚴(yán)酷，還采用彩鋼板搭設(shè)簡易預(yù)制件，室內(nèi)鋪地板革，屋內(nèi)用干凈的塑料布封一塊，裝上兩個層流罩，做簡單的凈化空間，進(jìn)行管道預(yù)制工作。

二、重要的施工機(jī)具。

專用自然氣管道施工機(jī)械重要有：全主動軌道焊機(jī)(D100,MIOO等)管道切割機(jī)(GF鋸)、管道切割機(jī)(GF鋸)、圓管切割機(jī)、彎管、倒角器、管口修毛刮刀、部分需配置電源穩(wěn)壓器，防止施工現(xiàn)場電流波動對焊接質(zhì)量產(chǎn)生影響；臺虎鉗、配電箱、拖線盤、臺鉆、電鉆、沖擊鉆、切割機(jī)、電焊機(jī)、手工氬弧焊機(jī)及其它輔助設(shè)備。

三、施工管理與現(xiàn)場施工的若干要點(diǎn)。

對工程管理人員和施工人員進(jìn)行施工安全和施工質(zhì)量培訓(xùn)，掌握超高純供氣體系施工技術(shù)要求和超高純供氣體系規(guī)范，掌握特種氣體的基本知識，進(jìn)步對特種管道施工質(zhì)量緊張性的熟悉。

特種氣體管道一樣平常采用小型管道輸送，為降低成本，管道采用直接用彎管加熱的體例，彎管一樣平常為5~10倍，但不小于5倍。所以對管道施工人員進(jìn)行彎管各方面的培訓(xùn)，對焊工也要進(jìn)行焊接程序的培訓(xùn)，認(rèn)識各種焊接參數(shù)的調(diào)整，對管工、焊工進(jìn)行考核，經(jīng)專業(yè)質(zhì)量管理人員考核合格，發(fā)給作業(yè)允許證后方可施工，這也是QA/QC保證程序的一個組成部分。在施工過程中也要進(jìn)行人員培訓(xùn)。

工地質(zhì)檢員要做好物料質(zhì)量檢查記錄和每日施工質(zhì)量檢查記錄，包括管工彎管質(zhì)量、管徑是否精確、管道是否有劃痕、彎頭是否壓平、管口是否被壓平、管子是否被壓平、管口是否被壓平、管口是否被壓平、管口是否被壓平、管口是否被壓平、管口是否被壓平15-20公分長套是否被壓平、管口是否被壓平、管口是否被壓平、管口是否被壓平、管口是否被壓平、管子是否被壓平、管子是否被壓平、管子是否被壓平、管子是否被壓平等。焊接工人的焊縫是否吻合質(zhì)量要求，每一個焊縫都要細(xì)心檢查，并做好記錄，記錄焊接工人及焊接次數(shù)。

焊接工人天天焊接前必須先做焊接試件，經(jīng)檢驗合格后才能進(jìn)行焊接施工，天天施工結(jié)束后還要做試件，以確認(rèn)今天的焊接是否有焊接隱患。每替換一次電源，必須重做一次樣品。焊件樣品應(yīng)附有焊接參數(shù)。每日焊接樣品應(yīng)妥帖保存。(對焊縫質(zhì)量的檢查重要是焊縫的寬圓度、內(nèi)外均勻度、焊縫的凹凸度、是否氧化、以及不許可出現(xiàn)的其他缺陷)

管道架上安裝到管架上，開始焊接作業(yè)后要采取延續(xù)充氣的體例，即從施工開始到施工結(jié)束，管道內(nèi)都要有氣泡珍愛，但在未進(jìn)行焊接作業(yè)時，可適當(dāng)調(diào)節(jié)較小的管道壓力。但是施工要求不高，為了降低成本，天天焊接完畢后，都要用管帽和清潔膠帶封住兩端。分外要指出的是，對于輸送強(qiáng)腐蝕性氣體的耐腐蝕VM管材的對接施焊，充氣時間必須達(dá)到4-5分鐘，且必須延續(xù)施焊。

四、體系檢測。

超高純供氣體系施工后均需進(jìn)行壓力檢測、漏氦檢測、粒度檢測及水氧分檢測。一樣平常采用比較細(xì)密的圓盤壓力測試儀或電子測試儀，不使用壓力表。從而極大地進(jìn)步了檢測精度。水性和氧性試驗采用水性氧分析儀；粒度試驗?zāi)壳盎静捎眉す饬６确治鰞x，精度可達(dá)0.1微米；而對于要求較高的核冷凝技術(shù)(CNC)，精度可達(dá)0.01微米。根據(jù)詳細(xì)要求，確定其他氣相雜質(zhì)的檢測方法。