當前位置：超高純供氣系統施工。
超高純供氣體系施工全主動化軌道焊接，同時制訂并實施嚴酷的超高純供氣施工及QA/QC保證程序，對施工質量和工序進行嚴酷的監控和管理。終，整個體系還必要進行氦檢漏、水份、氧和顆粒度檢測，以及其它必要的氣相雜質檢測。
施工現場基本施工程序為：施工組織設計會審→施工組織編制→預制工房施工
一、預制構件的選擇。
專用供氣管道施工對環境的要求較高，管道施工采用大批量預制然后現場安裝的方法。根據標準，預制作業必須在潔凈度達到百級的洗滌車間進行，操作者還必須按照百級洗滌車間管理著裝。所以對于大型特氣工程，一樣平常建有標準的預制廠。
但是我們在現實的施工中，大批量的特氣工程很少，一樣平常都是就地施工，為了節省成本和資金，在對特氣工程的要求不高的情況下，一樣平常采用在施工現場找一塊相對干凈的地方進行肯定的防塵措施，除了施工人員和檢方以外，應該禁止無關人員進入。如業重要求較嚴酷，還采用彩鋼板搭設簡易預制件，室內鋪地板革，屋內用干凈的塑料布封一塊，裝上兩個層流罩，做簡單的凈化空間，進行管道預制工作。
二、重要的施工機具。
專用自然氣管道施工機械重要有：全主動軌道焊機(D100,MIOO等)管道切割機(GF鋸)、管道切割機(GF鋸)、圓管切割機、彎管、倒角器、管口修毛刮刀、部分需配置電源穩壓器，防止施工現場電流波動對焊接質量產生影響；臺虎鉗、配電箱、拖線盤、臺鉆、電鉆、沖擊鉆、切割機、電焊機、手工氬弧焊機及其它輔助設備。
三、施工管理與現場施工的若干要點。
對工程管理人員和施工人員進行施工安全和施工質量培訓，掌握超高純供氣體系施工技術要求和超高純供氣體系規范，掌握特種氣體的基本知識，進步對特種管道施工質量緊張性的熟悉。
特種氣體管道一樣平常采用小型管道輸送，為降低成本，管道采用直接用彎管加熱的體例，彎管一樣平常為5~10倍，但不小于5倍。所以對管道施工人員進行彎管各方面的培訓，對焊工也要進行焊接程序的培訓，認識各種焊接參數的調整，對管工、焊工進行考核，經專業質量管理人員考核合格，發給作業允許證后方可施工，這也是QA/QC保證程序的一個組成部分。在施工過程中也要進行人員培訓。
工地質檢員要做好物料質量檢查記錄和每日施工質量檢查記錄，包括管工彎管質量、管徑是否精確、管道是否有劃痕、彎頭是否壓平、管口是否被壓平、管子是否被壓平、管口是否被壓平、管口是否被壓平、管口是否被壓平、管口是否被壓平、管口是否被壓平15-20公分長套是否被壓平、管口是否被壓平、管口是否被壓平、管口是否被壓平、管口是否被壓平、管子是否被壓平、管子是否被壓平、管子是否被壓平、管子是否被壓平等。焊接工人的焊縫是否吻合質量要求，每一個焊縫都要細心檢查，并做好記錄，記錄焊接工人及焊接次數。
焊接工人天天焊接前必須先做焊接試件，經檢驗合格后才能進行焊接施工，天天施工結束后還要做試件，以確認今天的焊接是否有焊接隱患。每替換一次電源，必須重做一次樣品。焊件樣品應附有焊接參數。每日焊接樣品應妥帖保存。(對焊縫質量的檢查重要是焊縫的寬圓度、內外均勻度、焊縫的凹凸度、是否氧化、以及不許可出現的其他缺陷)
管道架上安裝到管架上，開始焊接作業后要采取延續充氣的體例，即從施工開始到施工結束，管道內都要有氣泡珍愛，但在未進行焊接作業時，可適當調節較小的管道壓力。但是施工要求不高，為了降低成本，天天焊接完畢后，都要用管帽和清潔膠帶封住兩端。分外要指出的是，對于輸送強腐蝕性氣體的耐腐蝕VM管材的對接施焊，充氣時間必須達到4-5分鐘，且必須延續施焊。
四、體系檢測。
超高純供氣體系施工后均需進行壓力檢測、漏氦檢測、粒度檢測及水氧分檢測。一樣平常采用比較細密的圓盤壓力測試儀或電子測試儀，不使用壓力表。從而極大地進步了檢測精度。水性和氧性試驗采用水性氧分析儀；粒度試驗目前基本采用激光粒度分析儀，精度可達0.1微米；而對于要求較高的核冷凝技術(CNC)，精度可達0.01微米。根據詳細要求，確定其他氣相雜質的檢測方法。
