作為不銹鋼管系工程中的一員,HP超高純供氣系統更是如此,細節的緊張性表現得淋漓盡致,大型氣體(液體)體系中對特氣純度的使用要求可達99.9999%,可以說,特氣體系每一個地方出現一個小題目,就會導致氣體不純,生產出題目,甚至事故!
如今我們來細致介紹一下其中的一個細節,UHP超高純供氣體系中的不銹鋼管道!
對于半導體、集成電路、生物醫藥等行業來說,輸送超純介質(氣體)的高純氣體管道必要的是一種綜合考慮組織穩固性、耐蝕性、加工性能的不銹鋼管。
因此,高純度的管道既要有美觀的表面(外部純度),又要有物美價廉的材料(內部純度)。
一、外部純凈:與傳統不銹鋼管道內外外觀灰蒙蒙、凹凸不平的感覺不同,目前超純氣體管道不僅表面光潔,而且內部外觀粗糙度也較好,以確保管道體系對輸送的介質保持中性,并保證的徹底吹掃和清潔性能,目前工程師和技術人員經常提到的外觀粗糙度Ra值正是管道體系內部外觀粗糙度的基本要求。為保證主動軌焊質量和服從,當然尺寸公差也是基本的要求。
二、內部純凈指材料純凈:真正意義上的超純凈,氣管材僅僅有美觀的內外外觀是遠遠不夠的,對管路體系的材料也有特別很是嚴酷的要求,不管是化學成分照舊機械性能都有肯定的定義。因此,我們所說的純凈管是由純凈管316L組成,指不銹鋼中的不純物盡可能削減到肯定的范圍內,非金屬同化及氣體成分控制在限度,而高純凈管則可分為BA級和EP級,超高純供氣體系一樣平常采用不銹鋼管316LEP級,即電解拋光不銹鋼管。
超高純供氣體系方案純化等級為不銹鋼管。
總之,在保證超高純電子特氣管道體系中性的情況下,我們要看重管道外觀粗糙度Ra值、尺寸公差和自己的潔凈材質,使顆粒產生和積滯得到有用克制,確??珊感院秃附淤|量。如此可以保證內外純凈的不銹鋼管子,在焊接時可削減煙塵的發生,產生顆粒,進步焊接部位的耐蝕性和平滑性。