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一、超高純供氣系統(tǒng)施工的選型與設(shè)計。

除簡易供氣體系外，特氣房一樣平常自力于主房之外單獨(dú)建造，在規(guī)劃中應(yīng)考慮建筑物的防火、防爆、防火和防爆間距，并對傷害物進(jìn)行總量控制。傳統(tǒng)的供氣體系一樣平常也都是在一個氣體室內(nèi)設(shè)置多個氣瓶柜；而對于大容量的特別氣體，會根據(jù)氣體的性子和相容性將氣體房分為可燃?xì)怏w房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷房、毒性氣體房等。超高純供氣體系施工房間必須透風(fēng)優(yōu)秀，超高純供氣體系施工房間的選擇和設(shè)計通常由設(shè)計院來完成。

二、管路體系設(shè)計

1.管路體系設(shè)計選材

特種氣體管道體系一樣平常采用316L不銹鋼電解拋光管，閥門一樣平常采用高純調(diào)壓閥，隔膜閥，高細(xì)密過濾器，(<0.003微米),VCR接優(yōu)等。管道元件與氣體接觸時，外觀粗糙度可控制在5uin以內(nèi)。對CL2等一些腐蝕性強(qiáng)的氣體，可采用經(jīng)特別處理的耐腐蝕強(qiáng)電鍍管道。

2.設(shè)計了主管路體系；

當(dāng)確定了好的超高純供氣體系氣體房間和用氣點(diǎn)后，監(jiān)控體系一樣平常都遵循管線短、彎道少、布置簡潔合理、給人簡約美觀的感覺。輸送機(jī)的數(shù)量和管徑的大小一樣平常是由機(jī)臺用氣點(diǎn)和流量大小決定的，基本上都是采用小管徑輸送機(jī)(1/4-3/4)，而且備用體系設(shè)計較多。鑒于自然氣自己的傷害性，許多地方都采用在電纜橋架上鋪設(shè)管道，對于穿墻或穿夾道的地方、四周有傷害源的地方和經(jīng)常進(jìn)行傷害作業(yè)的地方，露天管道一樣平常都設(shè)置在全封閉的橋架上。

假如是低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等)，則必要考慮氣缸加熱，氣缸面板加熱，管路伴熱等。氣源端一樣平常都會考慮配置高精度壓力變送器、電子秤、溫度控制器等，以控制流量。機(jī)器臺氣點(diǎn)上也均配有質(zhì)量流量計、調(diào)壓閥。對高毒性、高反應(yīng)及自燃?xì)怏w，應(yīng)采用雙管輸送。與此同時，管路的設(shè)計應(yīng)采用零死區(qū)設(shè)計，即整個管路體系由氣柜到VMB，由VMB到用氣點(diǎn)，點(diǎn)對點(diǎn)，中心不許可有死氣死角。如許，VMB在整個管道體系內(nèi)完成氣體分配，中心無三通。終管路還必要好的接地。

3.設(shè)計輔助體系。

氣箱或控制板在安裝和運(yùn)輸過程中替換閥門、接頭、過濾器等，或出于其他緣故原由，必要重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氦檢，氣體的置換也必要用到高壓氮或氦氣，因此特氣箱必要超高純供氣體系設(shè)計為與高壓惰性氣體氦氣或氦氣相連。通常選擇在特別房間中設(shè)置一個或多個惰性氣體柜。它的連接情勢是：

專用氣柜內(nèi)設(shè)有各種氣體驅(qū)動閥，主管路在送氣前必須進(jìn)行管道吹掃及空氣置換，因此還需配套高純氮?dú)饧皾崈魤嚎s空氣體系。該體系可以使用SUS316L-EP管，CDA可以使用SUS316L-BA管，其直徑是根據(jù)氣柜大小計算出來的。

煤氣房和煤氣柜也需配備主動噴淋體系，但有些氣體如三氟化氯、硅烷遇水反應(yīng)等，此時也需考慮使用二氧化碳滅火體系。

透風(fēng)體系和排氣體系也是超高純供氣體系施工的緊張組成部分。它的排放體系還按傷害物質(zhì)的性子分為通俗排放體系(GEX)、酸性排放體系(SEX)、溶劑排放體系(VEX)和氨排放體系(AEX)。鍍鋅鐵皮風(fēng)管用于通俗排風(fēng)體系，玻璃鋼風(fēng)管用于酸性排風(fēng)體系，而溶劑和氨氣排風(fēng)體系一樣平常采用不銹鋼風(fēng)管。風(fēng)箱的排風(fēng)也根據(jù)其特征與上述不同的排風(fēng)體系相連。特氣放空是指煤氣專用管道和儲氣柜內(nèi)的煤氣，經(jīng)氮?dú)庀♂尯螅煞趴展艿琅湃氪髿饣蚺懦鲶w系中，有些劇毒氣體或有害氣體則排入尾氣處理裝配，經(jīng)處理后排入響應(yīng)的排出體系中。放風(fēng)體系一樣平常采用SUS304不銹鋼管，縱貫屋頂，高度約2米，并設(shè)置了防雨罩。